バイブレーションエアクリーナー【VFC】
非接触によるフィルムクリーニングマシン
多量の粉塵でも除去ができる！異物除去クリーナー
●超音波発生装置が不要
バウンダリーレイヤーはバイブレーションエアーにより破壊が可能となります。
●クローズドループが可能
HEPAフィルター搭載型の小型集塵機採用により、クリーンルーム
●圧縮エアが不要
コンプレッサーの電気代が、必要ありません。
●オプション品
インジケーターローラーで異物除去のモニタリングが可能となり、履歴として残せます。
バイブレーションエアクリーナー基本構造
装置構成
装置スペック
- オプション1 ） HEPAフィルター 捕集効率0.3μ、99.97%以上 クリーンクラス1000（工場出荷時）
- オプション2 ） 排出側静電気除去装置増設
- オプション3 ） インジケーターローラー（セット品：粘着テープユニット）